Ionenmikroskopie

Mit dem ORION NanoFab geht Zeiss ganz neue Wege: anstelle von Elektronen werden Helium- oder Neon Ionen verwendet, um Oberflächen abzubilden oder zu bearbeiten.

Wird das System mit einer zusätzlichen Gallium-Ionensäule ergänzt, entsteht ein einzigartiges Fabrikations- und Strukturierungstool. Durch den unglaublich feinen Ionenstrahl und der unterschiedlichen Interaktion mit der Probe sind verblüffende Resultate mit einer extremen Oberflächensensitivität erhältlich.