SEMPrep2

Ionenätzer werden einerseits zur Herstellung von polierten Oberflächen verwendet – beispielsweise für EBSD – anderseits auch als Werkzeug, um in die Tiefe einer Probe zu schneiden und eine Querschnittsfläche aufzuschliessen. Über ein Lichtmikroskop wird die Probe positioniert und die zu bearbeitende Stelle definiert. Die Systeme von Technoorg besitzen zwei Argon-Ionenemitter mit hohem und tiefem Energiebereich: während bei hohen Energien Material schnell abgetragen wird, eignet sich der tiefe Energiebereich für das Polieren einer Oberfläche. 

Die Abtragraten sind auf Silizium im Bereich von 150 µm pro Stunde. Mit der ultrahohen Ionenquelle sind Abtragraten bis 550 µm/h möglich.

Gerne stellen wir Ihnen das System bei einem Besuch vor oder wir zeigen Ihnen unser Demogerät im Labor, wo wir die Möglichkeit haben gleich vor Ort REM-Bilder an einem Feldemissionsgerät aufzunehmen.

SEMPrep2

Ansprechpartner

Telefon: +41 44 940 99 55

Christoph Mareischen
christoph.mareischen@gloorinstruments.ch