EDX / EBSD
Was sind die Hauptunterschiede zwischen EBSD- und EDX-Analyse?
Die EBSD-Analyse (Electron Backscatter Diffraction) und die EDX-Analyse (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) sind zwei Verfahren zur mikrostrukturellen Charakterisierung von kristallinen Materialien, die auf der Beugung von Strahlung an kristallinen Ebenen beruhen.
Sie werden zur Messung der kristallografischen Ausrichtung der Körner, der Korngröße und -form, der Textur, der Defekte und der in einer Probe vorhandenen Phasen eingesetzt.
Der Hauptunterschied zwischen den beiden Techniken besteht in der Art der verwendeten Strahlung: Elektronen für EBSD und Röntgenstrahlen für EDX.
Was ist EDX?
EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) ist eine Technik zur Element- und Zusammensetzungsanalyse, die auf den Informationen der durch Elektronenbestrahlung erzeugten Röntgenstrahlen beruht. Wenn im Elektronenorbital der inneren Schale eines Atoms durch ein einfallendes Elektron eine Leerstelle entsteht, werden Elektronen mit einem höheren Elektronenniveau aus der äußeren Schale übertragen, um das Atom zu stabilisieren.
Die dabei emittierte Röntgenstrahlung wird als charakteristische Röntgenstrahlung bezeichnet und hat für jedes Element einen bestimmten Energiewert. Anhand der Energie der erhaltenen charakteristischen Röntgenstrahlen kann das Vorhandensein der Elemente (4Be bis 98Cf) in der Probe in wenigen Sekunden festgestellt werden (qualitative Analyse). Die Intensität der charakteristischen Röntgenstrahlen kann auch zur Messung des Gehalts der einzelnen Elemente (quantitative Analyse) und zur Analyse der Entmischung innerhalb des Sichtfelds (Röntgenkartierung) verwendet werden.
Was ist EBSD?
EBSD ist eine auf dem Rasterelektronenmikroskop (REM) basierende Technik zur Materialcharakterisierung. Bei der EBSD wird der Elektronenstrahl über die Oberfläche einer gekippten kristallinen Probe gescannt; die gebeugten Elektronen bilden an jedem Punkt ein Muster, das mit spezieller Hardware und Software erfasst und analysiert werden kann. An jedem Punkt liefert der Indizierungsprozess Informationen über die Phase und die kristallografische Orientierung, aus denen die Mikrostruktur effektiv rekonstruiert werden kann. Dies ermöglicht eine vollständige Charakterisierung der mikrostrukturellen Eigenschaften der Probe. Die EBSD ist heute schnell und vollständig automatisiert, was sie zu einem leistungsstarken Werkzeug in vielen Industrie- und Forschungsbereichen macht, wie die folgende Tabelle zeigt.
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