XUUS EUV
XUUSTM est une ligne de lumière EUV cohérente (Ultraviolet extrême) et permet de réaliser des expériences et des études dans le domaine de l'EUV qui ne sont normalement possibles que sur des installations synchrotron.
Les applications typiques sont, entre autres les applications les plus courantes sont l'enregistrement d'images à haute résolution spatiale et temporelle, l'étude des matériaux magnétiques, la métrologie de la nanoélectronique et de la lithographie EUV, et l'étude de la dynamique moléculaire et des processus rapides à l'échelle de l'attoseconde.
