Focused Ion Beam

Dans les appareils CrossBeam de Zeiss une colonne d'électrons (SEM) est combinée à une colonne de faisceaux d'ions (FIB) afin de pouvoir, en plus de l'imagerie pure, couper en profondeur avec des ions de gallium. En ouvrant la surface, vous obtenez des informations en profondeur avec une résolution nanométrique!

Grâce à une séquence automatisée de découpe et de la production d'images suivie d'une reconstruction permet de générer des tomographies tridimensionnelles – une excellente méthode non seulement en biologie, mais aussi dans un large éventail d'applications dans la recherche sur les matériaux.

Avec l'ORION NanoFab, Zeiss s'engage dans une toute nouvelle voie: à la place des électrons, on utilise des ions d'hélium ou de néon pour imager ou traiter les surfaces.  

Si le système est complété par une colonne d'ions de gallium supplémentaire, on obtient un outil de fabrication et de structuration unique. Grâce au faisceau d'ions incroyablement fin et aux différentes interactions avec l'échantillon, des résultats étonnants sont disponibles avec une sensibilité de surface extrême.